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LED UV激光切丁机

HGLASER公司生产的LED UV激光切块机,采用优质的UV光源和高精度的工作台。独特的光路设计,定位方便。CCD图像处理系统满足了外延片快速、高质量的要求。它具有定位精度高、聚焦点小、CCD同轴监测切割等特点,满足了LED蓝宝石基片外延片切割工艺的要求。主要用于LED蓝宝石衬底外延片的切割。

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HGLASER公司生产的LED UV激光切块机,采用优质的UV光源和高精度的工作台。独特的光路设计,定位方便。CCD图像处理系统满足了外延片快速、高质量的要求。它具有定位精度高、聚焦点小、CCD同轴监测切割等特点,满足了LED蓝宝石基片外延片切割工艺的要求。主要用于LED蓝宝石衬底外延片的切割。


高精度直线运动台,大理石底座,调焦;
CCD同轴监测、图像自动识别、自动定位切割;
钢梁质量好,无机械应力,最大限度减少芯片的坍塌和微裂纹;
运行成本低,平均无故障运行可达10万小时,电光转换效率高,长时间使用节省能耗;
操作简单,软件功能强大,拥有自主知识产权。

主要用于LED蓝宝石基板外延片的切割。

激光波长

355海里

激光功率

5 w

定位精度

±1μm

XY光栅尺的分辨率

0.1μm

Z轴精度

±1μm

旋转轴精度

±20”

CCD定位精度

1μm

重复定位精度

±0.5μm

工作表的路线

150毫米×150毫米

马克斯切割大小

4英寸

切削宽度

6 - 10μm

切削深度

20 - 30μm

切割速度

100毫米/秒